一木 正聡 | 産業技術総合研究所
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概要
関連著者
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一木 正聡
産業技術総合研究所
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一木 正聡
産業技術総合研
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一木 正聡
(独)産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 ネットワークmems研究グループ
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前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所
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前田 龍太郎
産業技術総合研究所
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森川 泰
産業技術総合研究所
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中田 毅
東京電機大学情報環境学部情報環境学科
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中田 毅
工業技術院機械技術研究所
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中田 毅
東京電機大学工学部精密機械工学科
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前田 龍太郎
産業技術総合研
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中田 毅
東京電機大学
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前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
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王 占杰
東北大学
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中田 毅
東京電機大学情報環境学部
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曹 俊杰
産業技術総合研究所
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張 麓〓
産業技術総合研究所
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小林 健
(独)産業技術総合研究所
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川口 浩司
東京電機大学
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小林 健
産業技術総合研究所
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小林 健
産業技術総合研
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近藤 龍一
太陽誘電(株)ワイヤレスインフォメーションネットワークグループ先端材料デバイス部
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王 占杰
東北大学大学院工学研究科
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野中 一洋
産業技術総合研究所基礎素材研究部門
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近藤 龍一
太陽誘電(株)
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真船 洋祐
東京電機大学
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単 学伝
シンガポール生産技術研究所
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尾崎 浩一
産業技術総合研究所
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小林 健
産総研
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前田 竜太郎
産業技術総合研 集積マイクロシステム研究セ
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一木 正聡
マイクロメカトロニクス実装技術委員会
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荒井 真
東京電機大
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野中 一洋
(独)産業技術総合研究所 実環境計測・診断研究ラボ
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大泉 彰吾
東京電機大
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尾崎 浩一
産業技術総合研
-
野中 一洋
産業技術総合研究所
著作論文
- Pb(Zr,Ti)O_3薄膜のウエットエッチングにおけるダメージのLaNiO_3導電性酸化物薄膜による低減
- 圧電性材料の成膜技術とMEMSへの応用 : PZT系材料の成膜とデバイス形成に関する研究
- PLZT積層膜構造体の光起電力特性
- 圧電性材料の厚膜形成技術とMEMSへの応用 : PZT系材料の積層構造体作製とデバイス形成に関する研究
- パワーMEMS
- 微細加工技術を用いた圧電体成膜・デバイス形成技術に関する研究
- PLZT素子を用いた静電型光モータの機構
- 光起電力素子PLZTの電気的性質と光モータへの応用
- 特集に寄せて(生産流通トレーサビリティと人間状態計測における現状とセンサネットワーク応用-安全・安心社会の実現に向けた取り組み)
- 「生産流通プロセスのトレーサビリティと感性計測」技術の現状と今後(エレクトロニクス実装技術の現状と展望)
- PLZT素子を用いた静電型光モータの研究 : 静電型光モータに於けるPLZT素子サイズの影響(機械力学,計測,自動制御)
- PLZT素子を用いた静電型光モータの研究 : 駆動原理と基礎的実験(機械力学,計測,自動制御)
- 2P2-H09 静電型光モータにおける PLZT 素子のサイズの影響