PLZT素子を用いた静電型光モータの機構
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概要
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- 2001-06-20
著者
-
森川 泰
産業技術総合研究所
-
中田 毅
東京電機大学情報環境学部情報環境学科
-
川口 浩司
東京電機大学
-
一木 正聡
産業技術総合研究所
-
中田 毅
工業技術院機械技術研究所
-
中田 毅
東京電機大学工学部精密機械工学科
-
一木 正聡
(独)産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 ネットワークmems研究グループ
-
一木 正聡
産業技術総合研
-
中田 毅
東京電機大学
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