圧電性材料の成膜技術とMEMSへの応用 : PZT系材料の成膜とデバイス形成に関する研究
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概要
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- 日本AEM学会の論文
- 2005-07-30
著者
-
前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所
-
前田 龍太郎
産業技術総合研究所
-
王 占杰
東北大学
-
一木 正聡
産業技術総合研究所
-
曹 俊杰
産業技術総合研究所
-
張 麓〓
産業技術総合研究所
-
一木 正聡
(独)産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 ネットワークmems研究グループ
-
前田 龍太郎
産業技術総合研
-
前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
-
一木 正聡
産業技術総合研
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