OS1-11 A Thermally Actuated Valveless Gas Pump
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概要
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The development of a novel gas micropump suitable for integration with micro chemical chips is reported. A pumping principle was adopted that utilizes the volume change caused by heating and cooling air in the pump chamber, and the flow rectification effect based on fluidic diodes, in order to realize a small size without moving parts. For heating the air, a micro heater capable of rapid switching between high temperature (〜1000℃) and room temperature is required. In this work, a prototype device with a self-standing highly-doped silicon thin film heater was fabricated and characterized.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2007-06-13
著者
-
前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所
-
前田 龍太郎
産総研
-
三原 孝士
オリンパス(株) 未来創造研究所
-
ハイジック スヴェン
産総研
-
MATSUMOTO Sohei
AIST
-
マンゾーニ ジュリオ
産総研
-
ICHIKAWA Naoki
AIST
-
三原 孝士
オリンパス
-
三原 孝士
オリンパス・未来創研
-
前田 竜太郎
産業技術総合研 集積マイクロシステム研究セ
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