712 毛管現象に基づく自己整列に適した2次元接合パターンの設計(OS8-(2)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
The integration of micro-parts in alignment with an integrated circuit is a highly important task in assembly process. In any case, a uni-directional control is required since dies, packaging or optical elements, i.e. LED etc., must be positioned to the corresponding sites of the substrate with the correct angular orientation. In this paper, in order to determine an optimum pattern for both the micro-parts and the binding sites, the self-alignment has been comparatively studied using five kinds of modified patterns designed and considered from view point of Overlap ratio, based on a capillary effect.
- 2010-08-27
著者
-
前田 龍太郎
産総研
-
池原 毅
産業技術総合研究所
-
池原 毅
産総研
-
池原 毅
産業技術総合研究所 機械システム研究部門
-
石田 敬雄
産総研
-
王 東方
茨城大
-
志賀 昇平
茨城大学
-
志賀 昇平
茨城大院
関連論文
- 10pSD-3 TES型X線マイクロカロリメータのエネルギー分解能の追求(X線・γ線,宇宙線・宇宙物理領域)
- 28aSH-1 TES型X線マイクロカロリメータの性能向上を目指した基礎特性評価(28aSH X線・γ線,宇宙線・宇宙物理領域)
- マイクロカンチレバーを用いた濃縮・分析機能を持つ高感度化学センサシステムの感度解析と濃縮率推定
- 432 単結晶シリコンの曲げ試験における結晶異方性の効果(T09-2 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(2) 単結晶シリコンの力学特性,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 24aZJ-2 一回反射型MEMS X線光学系の撮像実験(24aZJ X線・γ線,宇宙線・宇宙物理領域)
- 22pZJ-6 In-house製作によるTES型X線マイクロカロリメータの開発と性能評価(22pZJ X線・γ線,宇宙線・宇宙物理領域)
- 22pSH-10 半導体微細加工技術MEMSを用いた超軽量X線光学系の開発(1)(22pSH X線・γ線,宇宙線・宇宙物理領域)
- 22pSH-11 半導体微細加工技術MEMSを用いた超軽量X線光学系の開発(2)(22pSH X線・γ線,宇宙線・宇宙物理領域)
- カンチレバー型化学センサのオンチップ温度センサによる温度補償
- OS1-11 A Thermally Actuated Valveless Gas Pump
- 5028 A Valveless Micropump for Gases
- ホットエンボスによる光スイッチ用可動ミラーアレイ構造の作製
- 2003年(平成15年)秋季第64回応用物理学会学術講演会(福岡大学)有機分子・バイオエレクトロニクス大分類分科の報告
- 単結晶シリコンの異方性がディスク型MEMS振動子の振動特性に及ぼす影響
- K-1505 マイクロ流路内の流れの可視化(J07-1 マイクロ熱流体現象・計測技術)(J07 マイクロマシン技術と熱流体現象)
- 1545 翼型剥離のスマート制御に向けて(第一報)
- T0302-2-1 静電駆動型disk振動子を用いたMEMS発振器(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2))
- ナノ領域を切り開く走査型プローブ顕微鏡の最新技術とその応用
- 3220 ピエゾ素子による発電(第 4 報) : 機械及び電気特性
- マイクロカンチレバーを用いた濃縮・分析機能を持つ高感度化学センサシステムの感度解析と濃縮率推定
- M2-3 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価(M2 材料評価)
- T0302-1-1 MEMS共振デバイスの低サイクル破壊試験(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(1))
- 701 熱ナノインプリントにおけるポリマーの変形解析(OS07.ポリマの変形と破壊に関するモデリングとシミュレーション(1))
- 20512 レーザー誘起表面弾性波測定による薄膜材料の機械的特性評価(トライボロジーと機械要素(1),OS.11 トライボロジーと機械要素)
- 原子間力顕微鏡を利用したナノメートル領域での硬さ試験(S51-4 トライボロジーの基礎と応用(IV),S51 トライボロジーの基礎と応用)
- 503 硬質膜のパターニング技術を用いた磁性材料のマイクロファブリケーション(OS8-(1) 精密微細加工と評価,オーガナイズドセッション)
- MEMS技術によるX線リソグラフィーマスクの試作
- セルフアセンブリー : 近年の進展と今後の展望
- Au(111)面上でのモノズルフィド自己組織化膜 : バイオクリスタルII
- 504 Crystallographic orientations and thermal treatments influences on nanomechanics of ultra-thin single crystal silicon (SCS) resonators for ultimate sensing
- 3219 摩擦面におけるイオン液体の分解挙動に及ぼす金属種の影響(S37-2 サステイナブルトライボロジー(2),21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 1103 高真空中における各種摩擦材料に対するイオン液体の潤滑性について(潤滑油,一般講演)
- アルキル鎖長に依存したフタロシアニン誘導体の2次元配列構造と摩擦力変化(OS8-2 マイクロ機構とトライボロジー(II))
- 505 自己組織化技術を利用したマイクロ・ナノ構造物形成技術(OS8-(1) 精密微細加工と評価,オーガナイズドセッション)
- 分子スケールエレクトロニクス : Metal filament effect の克服に向けて
- 有機分子自己組織化膜のナノトライボロジーへの展開(ナノテクノロジーとの融合によるトライボロジーの新展開,F16 機素潤滑設計部門企画)
- 分子バイオナノテクノロジー
- 共振型マイクロ化学センサへの感応膜塗布特性の制御のための表面微細パターンの利用
- 103 伝熱構造連成解析による熱ナノインプリントの高スループット化の検討(OS14.ポリマの変形と破壊に関するモデリングとシミュレーション(1),オーガナイズドセッション)
- シリコンカンチレバー質量センサにおける温度依存性の解析
- 27pPSA-16 フッ素含有単分子膜の光電子分光による評価(27pPSA 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- T0302-2-2 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析([T0302-2]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(2):応力・ひずみ計測)
- T0302-1-1 (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価([T0302-1]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(1):シリコンの破壊と疲労)
- MNM-3A-4 (110)単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析(セッション 3A 単結晶・多結晶シリコンの疲労寿命評価とメカニズムの解明)
- 708 同期共振を利用した逆C型単結晶シリコン共振子 : 構造設計と作製(OS8-(2)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
- 23pPSA-9 フッ素含有自己組織化膜の電子状態(23pPSA 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 713 高感度センシング用超薄シリコンカンチレバーのナノ機械特性に及ぼすガス吸着の影響(OS8-(3)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
- 712 毛管現象に基づく自己整列に適した2次元接合パターンの設計(OS8-(2)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
- 709 ディスク型振動子デバイスの作製とその静電容量ギャップ形状の改善(OS8-(2)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
- 716 コアファイバを有する圧電高分子繊維の構造設計及び理論検討(OS8-(3)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
- 714 消費電力モニタリング用MEMS直流電力センサの開発(OS8-(3)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
- 共振型マイクロ化学センサへの感応膜塗布特性の制御のための表面微細パターンの利用
- 5-5 異なる試験手法により得られたシリコンの疲労挙動の相互比較(セッション5:OS1-2 マルチスケール・シミュレーションとナノ計測)
- 803 マイクロマグネットを用いた磁気センサデバイスの研究開発(OS8-(1)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
- 811 低周波数振動領域で使用可能なワイヤレスセンサ端末のための圧電MEMSスイッチ(OS8-(3)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
- 801 同期共振を利用した並列ビーム型共振子の構造設計と作製(OS8-(1)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
- 808 フレキシブル織物ハーベスタに応用する高分子発電素子の構造設計と作製(OS8-(2)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
- 807 低電流エレクトロマイグレーションによるナノギャップ電極の開発(OS8-(2)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
- 802 ヘルスケアや環境保全のためのリング型PZT薄膜微小共振子の研究開発(OS8-(1)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
- 806 圧電薄膜カンチレバーによる高調波共振效果の探索(OS8-(2)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
- 805 連成振動を利用した並列微小振動子に関する研究(OS8-(2)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
- 804 消費電力モニタリング用MEMS直流センサの開発(第2報)(OS8-(1)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
- 24aYD-6 ポリジアセチレンの光誘起相転移歪の温度依存性(24aYD 光誘起相転移,領域5(光物性分野))