802 ヘルスケアや環境保全のためのリング型PZT薄膜微小共振子の研究開発(OS8-(1)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
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概要
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The eigenstate shift in resonant frequency by a ring-shaped resonator has been studied for ultrasensitive mass detection, in liquid environment. The proposed ring-shaped resonator is comprised with a multilayer of Pt/Ti/PZT/Pt/Ti/SiO_2 deposited on a silicon-on-insulator (SOI) wafer and is expected to be excited in a contour mode. In order to estimate the sensitivity of the ring-shaped resonator to small mass perturbation, theoretical analysis has been conducted for eigenstate shifts with or without small perturbation, from the view point of geometrical design and the mass impression methodology.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2011-08-26
著者
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