801 同期共振を利用した並列ビーム型共振子の構造設計と作製(OS8-(1)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
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概要
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Two oscillation systems consisting of two beam-shaped cantilevers, with and without mechanical element to the support, have been proposed for verification respectively. The vibration modes, have been simulated using a commercial Coventor Ware^<TM> software to guarantee the two resonant frequencies to mutually obey the relation of ω_2 ≒ 2ω_1, which are expected to be coupled through a coupling overhang. The synchronization of the fabricated oscillation systems will be further demonstrated and compared.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2011-08-26
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