中嶋 守 | 茨城大院
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概要
関連著者
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前田 龍太郎
産総研
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池原 毅
産総研
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王 東方
茨城大
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中嶋 守
茨城大院
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前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所
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池原 毅
産業技術総合研究所
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池原 毅
産業技術総合研究所 機械システム研究部門
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前田 竜太郎
産業技術総合研 集積マイクロシステム研究セ
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中嶋 守
Department Of Mechanical Engineering Ibaraki University
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前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
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伊藤 匠
茨城大
著作論文
- 708 同期共振を利用した逆C型単結晶シリコン共振子 : 構造設計と作製(OS8-(2)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
- 801 同期共振を利用した並列ビーム型共振子の構造設計と作製(OS8-(1)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)