池原 毅 | 産業技術総合研究所 機械システム研究部門
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概要
関連著者
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池原 毅
産業技術総合研究所
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池原 毅
産業技術総合研究所 機械システム研究部門
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昆野 舜夫
産業技術総合研究所
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三原 孝士
オリンパス
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産業技術総合研究所
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前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所
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前田 竜太郎
産業技術総合研 集積マイクロシステム研究セ
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前田 龍太郎
産業技術総合研
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独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
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前田 龍太郎
産総研
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三原 孝士
オリンパス(株) 未来創造研究所
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布川 正史
信州大学
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池原 毅
産総研
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木村 睦
信州大学
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前田 龍太郎
産業技術総合研究所
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木村 睦
信州大学繊維学部
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昆野 舜夫
産総研
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王 東方
茨城大
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野中 聡
旭川医科大学耳鼻咽喉科・頭頸部外科学講座
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野中 源一郎
九州大学薬学部
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野中 倫明
東京都立大塚病院 外科
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単 学伝
Singapore Institute of Manufacturing Technology (SIMTech)
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大友 誠
池上金型工業株式会社
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石田 敬雄
産総研
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単 学伝
シンガポール生産技術研究所
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志賀 昇平
茨城大学
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中嶋 守
Department Of Mechanical Engineering Ibaraki University
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中嶋 守
茨城大院
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村上 直
産総研
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志賀 昇平
茨城大院
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単 学伝
池上金型工業株式会社
著作論文
- カンチレバー型化学センサのオンチップ温度センサによる温度補償
- ホットエンボスによる光スイッチ用可動ミラーアレイ構造の作製
- 単結晶シリコンの異方性がディスク型MEMS振動子の振動特性に及ぼす影響
- T0302-2-1 静電駆動型disk振動子を用いたMEMS発振器(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2))
- マイクロカンチレバーを用いた濃縮・分析機能を持つ高感度化学センサシステムの感度解析と濃縮率推定
- 共振型マイクロ化学センサへの感応膜塗布特性の制御のための表面微細パターンの利用
- シリコンカンチレバー質量センサにおける温度依存性の解析
- 708 同期共振を利用した逆C型単結晶シリコン共振子 : 構造設計と作製(OS8-(2)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
- 712 毛管現象に基づく自己整列に適した2次元接合パターンの設計(OS8-(2)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
- 709 ディスク型振動子デバイスの作製とその静電容量ギャップ形状の改善(OS8-(2)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
- 共振型マイクロ化学センサへの感応膜塗布特性の制御のための表面微細パターンの利用