5028 A Valveless Micropump for Gases
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概要
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We present a concept of a valveless micropump for gases using microdiffusers to rectify the gas flow. Driving part is a microheater made of thin film platinum operating in periodic heating and cooling cycles. The pump is designed to fit into a future sensor network for environmental monitoring. The design allows an airflow rate of ca.l μl/s. Calculated maximum heater temperature is ca. 500℃. The maximum heating/pumping frequency is in the range of 5kHz. At this speed, the pump displaces about 3% of its volume in one pumping cycle.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2006-09-15
著者
-
松本 壮平
産総研
-
前田 龍太郎
産総研
-
三原 孝士
オリンパス(株) 未来創造研究所
-
高野 貴之
産総研
-
ハイジック スヴェン
産総研
-
マンゾーニ ジュリオ
産総研
-
三原 孝士
オリンパス
-
松本 壮平
産業技術総合研
-
高野 貴之
独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
-
三原 孝士
オリンパス・未来創研
-
前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
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