MNM-2A-2 MEMS粘性センサ(η-MEMS)の開発(セッション 2A MEMSデバイスを用いた熱・流体計測,マイクロ・ナノ工学における非線形力学,電気等価回路から考えるMEMS設計手法)
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概要
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A Micro viscosity sensor manufactured by micro processing technology has been developed. The principle of the viscosity sensor is improvement of vibrating viscometer. The viscosity sensor has a vibrating body which is excited by an actuator and a tracking body which is subjected to a shear stress. The shape of vibrating body and tracking body is double volute. The sensor can measure the flow curve of Non-Newtonian fluid. The manufacturing process of the basic structure using the micro processing technology was verified.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2010-10-12
著者
-
山本 泰之
(独)産業技術総合研究所
-
黒田 雅治
産総研
-
藤井 賢一
産業技術総合研 計測標準研究部門
-
松本 壮平
産業技術総合研
-
藪野 浩司
慶應義塾大
-
黒田 雅治
産業技術総合研 先進製造プロセス部門
-
藤井 賢一
産業技術総合研究所
-
松本 壮平
産業技術総合研究所
-
山本 泰之
産業技術総合研究所
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