21pRB-6 X線結晶密度法によるシリコン原子空孔評価とキログラムの再定義(21pRB 領域10シンポジウム:シリコン結晶中の単原子空孔:量子状態解明の新たな展開と半導体技術イノベーション,領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2008-08-25
著者
-
倉本 直樹
産業技術総合研究所計測標準研究部門
-
藤井 賢一
産業技術総合研究所計測標準研究部門
-
藤井 賢一
(独)産業技術総合研究所 計測標準研究部門 物性統計科 流体標準研究室
-
早稲田 篤
産業技術総合研究所計測標準研究部門物性統計科
-
藤井 賢一
産業技術総合研 計測標準研究部門
-
早稲田 篤
産業技術総合研究所計測標準研究部門
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