6-2 二重渦巻き形状のMEMS粘度センサの開発(セッション6:マイクロ物理センサ)
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概要
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A Micro viscosity sensor, named η-MEMS, has been developed. The η-MEMS is manufactured by processing technology of Micro Electro Mechanical Systems. The basic shape of the viscosity sensor is double spiral. One spiral is a vibrating body which is vibrated by a Piezo actuator and another spiral is a sensing body which is vibrated by viscous stress. The principle of the viscosity sensor is improvement of vibrating viscometer. A new testing system of the sensor chip has constructed and the principle of the viscosity measurement has been confirmed.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2011-09-25
著者
-
藤井 賢一
産業技術総合研 計測標準研究部門
-
松本 壮平
産業技術総合研
-
藪野 浩司
慶應義塾大
-
黒田 雅治
産業技術総合研 先進製造プロセス部門
-
山本 泰之
産業技術総合研究所
-
山本 智子
産業技術総合研究所
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