生体分子計測用原子間力顕微鏡プローブのセルフセンシング自励発振駆動に関する研究(機械力学,計測,自動制御)
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概要
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Recently, considerable attention of material scientists and mechanical engineers has been devoted to measurement based on atomic force microscopy. Self-excitation is known as an effective excitation method for AFM probe to measure the surface of a biological molecule in liquid. For practical use of a probe in liquid, we must realize a self-sensing and self-actuating AFM probe using PZT instead of using a conventional optical lever method. However, frequency characteristics of the PZT are very complex in applications for measurement of probe behavior. For detecting sensor characteristics, the dynamics of the cantilever to which the PZT is attached are extracted from the PZT sensor output signal. To this end, we examine the frequency response of the PZT output signal in the case where the cantilever is excited with constant response amplitude by a PZT actuator. Then, we construct a method to process the signal so that the PZT sensor frequency characteristic has no high gain for the frequency range other than the first natural frequency. Finally, we conduct experiments to verify that the resultant signal is suitable to produce of van der Pol type self-excited oscillation.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2007-11-25
著者
-
小林 健
(株)東芝京浜事業所
-
黒田 雅治
産業技術総合研究所
-
小林 健
産業技術総合研究所
-
小林 健
産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門
-
藪野 浩司
筑波大学大学院システム情報工学研究科
-
黒田 雅治
産業技術総合研 先進製造プロセス部門
-
染谷 貴司
三菱重
-
染谷 貴司
筑波大学大学院システム情報工学研究科知能機能システム専攻
-
小林 健
産業技術総合研
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