2114 ファンデルポール型自励発振マイクロカンチレバーを用いたAFMの特性(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
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概要
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Self-excitation thechnique is known as an effective excitation method for a cantilever probe of the atomic force microscope to measure the surface of a biological sample in a liquid environment. In this research, we deal with a van der Pol type cantilever probe, which is previously proposed to realize the non-contact mode, and experimentally examine the relationships between the response frequency and amplitude and the gap of the cantilever probe and the surface. From the result, the performance of the self-excited cantilever probe from viewpoint of the contact between the cantilever and the surface.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2008-03-17
著者
-
芦田 極
産業技術総合研究所
-
黒田 雅治
産業技術総合研究所
-
藪野 浩司
筑波大学大学院システム情報工学研究科
-
黒田 雅治
産業技術総合研 先進製造プロセス部門
-
染谷 貴司
三菱重
-
染谷 貴司
筑波大学大学院システム情報工学研究科知能機能システム専攻
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