マイクロカンチレバの自励発振特性と自己検知自己駆動型AFMマイクロカンチレバの実現に向けた検討(一般,制御システムとダイナミックス)
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概要
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近年,原子間力顕微鏡(AFM)による液中での生体観察が期待されている.本研究では液中でも高感度でかつ試料を傷つけないためのAFMカンチレバの低振幅な定常振動をファンデルポール型自励発振法を用いて実現する.また圧電膜によりマイクロカンチレバの加振とたわみの検知の両方を行なう手法について検討する.この手法はレーザによるカンチレバの変位の計測を必要とせず,液中観察に有利といえる.さらに光点をカンチレバ先端に合わせる作業を必要としないことから操作も簡略化でき,また従来のものより装置の小型化が期待される.
- 2006-06-26
著者
-
藪野 浩司
筑波大学
-
小林 健
(株)東芝京浜事業所
-
黒田 雅治
産業技術総合研究所
-
小林 健
産業技術総合研究所
-
小林 健
産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門
-
黒田 雅治
産業技術総合研 先進製造プロセス部門
-
小林 健
産業技術総合研
-
林 圭一
筑波大学大学院システム情報工学研究科
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