247 マイクロカンチレバープローブの非線形特性解析
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概要
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Recently, there is a high expectaion for biological samples to be observed in liquid by the use of Atomic Force Microscopes (AFM). However, viscous damping makes it difficult to observe the samples in liquid using conventional methods. Moreover, it is required that a cantilever oscillates with a small amplitude to prevent the contact between the cantilever and the samples. In this research, we proposed a microcantilever which behaves as van der Pol oscillator. Then, we realized a self-excited oscillation with a small steady state amplitude.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2009-08-03
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