山本 泰之 | 産業技術総合研究所
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概要
関連著者
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藤井 賢一
産業技術総合研 計測標準研究部門
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松本 壮平
産業技術総合研
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藪野 浩司
慶應義塾大
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黒田 雅治
産業技術総合研 先進製造プロセス部門
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山本 泰之
産業技術総合研究所
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山本 泰之
(独)産業技術総合研究所
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黒田 雅治
産総研
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藤井 賢一
産業技術総合研究所
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松本 壮平
産業技術総合研究所
-
山本 智子
産業技術総合研究所
著作論文
- MNM-2A-2 MEMS粘性センサ(η-MEMS)の開発(セッション 2A MEMSデバイスを用いた熱・流体計測,マイクロ・ナノ工学における非線形力学,電気等価回路から考えるMEMS設計手法)
- 6-2 二重渦巻き形状のMEMS粘度センサの開発(セッション6:マイクロ物理センサ)