240 表面活性化法によるシリコンおよびシリコン酸化膜の低温無加圧接合
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概要
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- 社団法人溶接学会の論文
- 1997-09-10
著者
-
前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所
-
松本 壮平
産総研
-
高木 秀樹
産総研
-
須賀 唯知
東京大学先端科学技術研究センター
-
前田 龍太郎
工業技術院機械技術研究所
-
高木 秀樹
工業技術院機械技術研究所
-
松本 壮平
産業技術総合研
-
松本 壮平
工業技術院機械技術研究所
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