高木 秀樹 | 工業技術院機械技術研究所
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概要
関連著者
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高木 秀樹
工業技術院機械技術研究所
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前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所
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松本 壮平
産総研
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高木 秀樹
産総研
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須賀 唯知
東京大学先端科学技術研究センター
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前田 龍太郎
工業技術院機械技術研究所
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松本 壮平
産業技術総合研
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松本 壮平
工業技術院機械技術研究所
著作論文
- 240 表面活性化法によるシリコンおよびシリコン酸化膜の低温無加圧接合
- 3 ウェハ常温接合における接合形成過程と表面粗さの影響(固体間凝着現象)
- International Workshop on Microfactories (IWMF'98) 報告