D223 ブリッジ構造マイクロチャンネルによる微少流量制御
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概要
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A micro flow regulating element for integrated chemical devices was developed and its thermal behavior was evaluated. The temperature dependence of liquid viscosity was utilized to perform a continuous volume flow control in nano-liter/minute region, without mechanically actuated parts. A parylene-based suspended micro channel with a heater and a temperature sensor was realized for thermal insulation. The amounts of thermal energy losses to the substrate and the ambient air were estimated through a model calculation. The experiment using a prototype device demonstrated a reasonable flow regulation performance. The results of energy loss estimation were compared with the experiment, and the causes of discrepancies were discussed.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2003-11-10
著者
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