FIB加工によるカーボン型を用いた石英ガラスのマイクロ・ナノ成形
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概要
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- 2006-10-25
著者
-
杉本 公一
信州大 超精密技術研究セ
-
高橋 正春
独立行政法人 産業技術総合研究所
-
前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所
-
杉本 公一
信州大学 工学部
-
杉本 公一
信州大学 大学院
-
前田 竜太郎
産業技術総合研 集積マイクロシステム研究セ
-
高橋 正春
独立行政法人産業技術総合研究所
-
前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
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