ナノインプリント技術を活用した配線パターンの製作(1) : 熱インプリントとダマシン法を併用したパリレン薄膜への銅配線形成(講座「ちょっとMEMS」第14回)
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概要
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- 社団法人エレクトロニクス実装学会の論文
- 2009-05-01
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