高橋 正春 | 独立行政法人 産業技術総合研究所
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概要
関連著者
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高橋 正春
独立行政法人 産業技術総合研究所
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前田 龍太郎
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産業技術総合研 集積マイクロシステム研究セ
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信州大 超精密技術研究セ
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杉本 公一
信州大学 工学部
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杉本 公一
信州大学 大学院
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長谷川 公平
伊藤精工(株)
著作論文
- ホットエンボス成型による石英ガラス型を用いたホウケイ酸ガラスのマイクロ成型
- FIBを用いたカーボン型の作製及びガラス材料のマイクロ・ナノ成形
- WLF則がガラスインプリント解析に与える影響の検討
- FIB加工によるカーボン型を用いた石英ガラスのマイクロ・ナノ成形
- Qスイッチレーザー加工によるカーボン型を用いた低蛍光ガラスのマイクロ成形
- 研削加工によるカーボン型を用いたガラス材料の大面積マイクロ成形
- ナノインプリント技術を活用した配線パターンの製作(2) : Ni型を用いたSU-8レジストへの熱・光併用インプリント(講座「ちょっとMEMS」第15回)
- ナノインプリント技術を活用した配線パターンの製作(1) : 熱インプリントとダマシン法を併用したパリレン薄膜への銅配線形成(講座「ちょっとMEMS」第14回)