平林 康男 | 神奈川県産業技術センター
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概要
関連著者
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平林 康男
神奈川県産業技術センター
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平林 康男
神奈川県産総研
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安井 学
神奈川県産業技術センター
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神奈川県産業技術センター
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岡野 陽子
神奈川県産業技術総合研究所
著作論文
- B_2O_3-La_2O_3系ガラスに適したインプリント金型材料の研究
- Ni-W合金めっき膜を用いたガラスナノインプリント用金型
- マイクロフォーカスX線検査装置用Niグリッドマスクの開発
- 電磁駆動による Moving Magnet 式マイクロミラーの検討
- 炭化珪素薄膜の結晶成長に及ぼす電子衝撃の効果
- プラズマCVDトライオ-ド法によるSiC薄膜の作製
- WLF則がガラスインプリント解析に与える影響の検討
- 電鋳技術を用いたMEMS
- 円形状微細穴形成に対する犠牲層としての電着レジストの適用
- Si鋳型を用いた微細穴の試作