小林 賢 | 神奈川県工試

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  神奈川県産業技術センター

• 平林 康男

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  神奈川県産業技術総合研究所

• 唐澤 志郎

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• 平林 康男

  神奈川県産技セ

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著作論文

• 電磁駆動による Moving Magnet 式マイクロミラーの検討
• 炭化珪素薄膜の結晶成長に及ぼす電子衝撃の効果
• プラズマCVDトライオ-ド法によるSiC薄膜の作製
• ダイヤモンド薄膜のTEM観察
• EACVD法によるダイヤモンド薄膜の作製
• EACVD法によるダイヤモンド薄膜の作製とラマン分光評価

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