電磁駆動による Moving Magnet 式マイクロミラーの検討
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概要
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- 1999-11-11
著者
-
小林 賢
神奈川県産業技術センター
-
平林 康男
神奈川県産業技術センター
-
星川 潔
神奈川県産業技術総合研究所
-
岡野 陽子
神奈川県産業技術総合研究所
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小林 賢
神奈川県工試
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平林 康男
神奈川県産業技術総合研究所
-
平林 康男
神奈川県産技セ
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