SiC単結晶膜を用いたフォトダイオ-ドの試作

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 神奈川県工業試験所の論文

著者

• 平林 康男

  神奈川県産業技術総合研究所

関連論文

• 電磁駆動による Moving Magnet 式マイクロミラーの検討
• 炭化珪素薄膜の結晶成長に及ぼす電子衝撃の効果
• プラズマCVDトライオ-ド法によるSiC薄膜の作製
• SiC単結晶膜を用いたフォトダイオ-ドの試作
• アモルファスカ-ボンPIN構造素子の試作
• 水晶振動子の湿度特性

スポンサーリンク