三田 信 | JAXA

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概要

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• JAXAの論文著者

関連著者

• 三田 信

  JAXA

• 年吉 洋

  東京大学 生産技術研究所

• 三田 信

  宇宙航空研究開発機構

• 年吉 洋

  東京大学先端研

• 藤田 博之

  東京大学生産技術研究所

• 藤田 博之

  東京大学

• 藤田 博之

  東大生研

• 三田 信

  宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部

• 年吉 洋

  東大生産研

• 藤田 博之

  東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター

• 年吉 洋

  東京大学 先端科学技術研究センター

• 藤田 博之

  東京大学 生産技術研究所

• 年吉 洋

  東京大学 生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター

• 三田 信

  東京大学生産技術研究所

• 年吉 洋

  東大

• 藤田 博之

  東大生産研

• 年吉 洋

  東京大学

• 水野 貴秀

  宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部

• 年吉 洋

  東京大学生産技術研究所

• 水野 貴秀

  宇宙科学研

• 安宅 学

  東京大学・生産技術研究所

• 安宅 学

  東京大学生産技術研究所

• 小林 大

  科学技術振興事業団

• 水野 貴秀

  Institute of Space and Astronautical Science, JAXA

• 三田 信

  東大生研

• 水野 貴秀

  総合研究大学院大学:宇宙航空研究開発機構

• 水野 貴秀

  Institute Of Space And Astronautical Science Jaxa

• 水野 貴秀

  宇宙航空研究開発機構 宇宙科学研究所

• 三田 信

  東京大学 生産技術研究所

• 丸山 智史

  東京大学 先端科学技術研究センター

• 丸山 智史

  東京大学 生産技術研究所

• 角嶋 邦之

  東京大学生産技術研究所 藤田博之研究室

• 橋口 原

  香川大学工学部

• 安井 学

  神奈川県産業技術センター

• 河合 正昭

  富士通株式会社

• 高橋 一浩

  東京大学生産技術研究所

• 平林 康男

  神奈川県産業技術センター

• 河合 正昭

  (株)富士通研究所

• 河合 正昭

  株式会社富士通研究所:富士通株式会社

• 山本 毅

  (株)富士通研究所

• 年吉 洋

  東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター

• 武山 芸英

  株式会社ジェネシア

• 武山 芸英

  ジェネシア

• 高橋 巧也

  東京大学 生産技術研究所

• 橋口 原

  香川大学

• 山下 真司

  Department Of Electrical Engineering And Information Systems University Of Tokyo

• 角嶋 邦之

  東京大学生産技術研究所

• 山下 真司

  (株)富士通研究所

• 矢野 光博

  アダマンド工業(株)

• 平林 康男

  神奈川県産総研

• 小林 大

  東京電機大学

• 安井 学

  神奈川県産業技術総合研究所

• 年吉 洋

  東大生研

• 橋口 原

  Research Institute Of Electronics Shizuoka University

• 高橋 一浩

  豊橋技科大

• 安宅 学

  東京大学 生産技術研究所

• 高原 卓也

  総合研究大学院大学

• 水野 貴秀

  総合研究大学院大学

• 橋口 原

  静岡大学

• 三田 吉郎

  東京大学

• 諫本 圭史

  サンテック

• 水野 貴秀

  Jaxa宇宙科学研究本部

• 梶川 泰広

  東京電機大学

• 梶川 泰広

  電機大

• 林 卓矢

  東京計装

• 浜田 裕介

  武蔵工業大学大学院工学研究科機械システム工学専攻

• 和田 恭雄

  (株)日立製作所基礎研究所

• 和田 恭雄

  日立基礎研 Crest

• 三田 吉郎

  東大

• 鄭 昌鎬

  サンテック

• 薗部 忠

  並木精密宝石(株)

• 遠藤 潤二

  科学技術振興事業団crest

• 宮内 大助

  TDK記録デバイス事業本部

• 三田 信

  神奈川県産業技術総合研究所

• 安井 学

  神奈川産総研

• 角嶋 邦之

  東大生研

• 平林 康男

  神奈川産総研

• 荒井 誠

  東京大学生産技術研究所

• 権 鎬楠

  神奈川科学技術アカデミー

• 高橋 一浩

  IIS, The University of Tokyo

• 猿田 訓彦

  IIS, The University of Tokyo

• 三田 信

  Japan Aerospace Exploration Agency

• 藤田 博之

  IIS, The University of Tokyo

• 年吉 洋

  IIS, The University of Tokyo

• 遠藤 潤二

  (株)日立製作所

• 三田 吉郎

  東大生研

• 宮内 大助

  Tdk

• 水野 貴秀

  宇宙航空研究開発機構

• 荒井 誠

  東京大学大学院

• 天坂 祥一

  東京電機大学

• 吉野 智則

  東京電機大学

• 諌本 圭史

  サンテック(株)製品開発部

• 猿田 訓彦

  Iis The University Of Tokyo

• 平林 康男

  神奈川県産技セ

• 水野 貴秀

  JAXA

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著作論文

• 21109 MEMS機械構造の電気回路化(基調講演,MEMS技術,OS.3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体,MEMS,NEMS))
• 2次元走査型LIDAER用MEMSスキャナ(宇宙探査・計測,及び一般)
• 4023 惑星探査機搭載用レーザ測距計の走査光学系に関する研究(S61-1 宇宙システムの誘導・制御(1),21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• 惑星探査機搭載用LIDARの2次元走査機構に関する研究
• 静電ワブルモータの解析とディープRIEによる製作
• 円形状微細穴形成に対する犠牲層としての電着レジストの適用
• Si鋳型を用いた微細穴の試作
• 電極構造・弾性体のレイヤー分離による静電櫛歯型XYステージの高密度化
• 櫛歯型静電マイクロアクチュエータによるレンズ光スキャナの検討
• 赤外分光天体望遠鏡用マイクロシャッタアレイの試作
• C-3-65 MEMS空間光位相変調器を用いた光ビーム形状操作(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
• B-10-34 一次元MEMSアレイを用いた空間光位相変調器(B-10.光通信システムA(線路),一般講演)
• シリコンマイクロマシニングによるステップアクチュエータ (マイクロマシン)
• Siマイクロマシニング技術による微小領域計測用ツインプローブの試作
• 遅延マスク法によるシリコンの3次元バルクマイクロ構造
• マイクロ光スイッチ用垂直ミラーの作製
• 磁気ディスクヘッド素子駆動用静電マイクロアクチュエータ
• 静電インパクト型マイクロアクチュエータの製作と駆動特性
• マイクロマシンによる乱数の発生
• 宇宙用慣性駆動型マイクロアクチュエータ
• 準平行平板型静電トーションミラーの等価回路モデル
• 分岐型サスペンション構造への運動方程式等価回路モデルの応用
• 電気回路シミュレータを用いたMEMS電圧-周波数変換器のシミュレーション

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