櫛歯型静電マイクロアクチュエータによるレンズ光スキャナの検討
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概要
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- 2004-05-12
著者
-
高橋 一浩
東京大学生産技術研究所
-
三田 信
JAXA
-
年吉 洋
東京大学 生産技術研究所
-
年吉 洋
東京大学先端研
-
高橋 一浩
IIS, The University of Tokyo
-
猿田 訓彦
IIS, The University of Tokyo
-
三田 信
Japan Aerospace Exploration Agency
-
藤田 博之
IIS, The University of Tokyo
-
年吉 洋
IIS, The University of Tokyo
-
猿田 訓彦
Iis The University Of Tokyo
-
高橋 一浩
豊橋技科大
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