印刷技術によるフレキシブルMEMSカラーピクセル(ディスプレイ材料・製造技術シンポジウム)
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概要
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グラビア印刷、フレキソ印刷、エンボス加工、インクジェット印刷などの印刷加工技術を用いて、プラスチックフィルム上に金属・酸化物薄膜パターンを形成し、印加電圧の静電引力で駆動可能なMEMS静電駆動型のファブリ・ペロ光学干渉計による可変色カラーピクセルを製作した。本稿では、その設計法、製作法、および、光学特性の評価結果を報告する。
- 2012-02-24
著者
-
年吉 洋
東京大学
-
年吉 洋
東大生産研
-
年吉 洋
東京大学 生産技術研究所
-
年吉 洋
東京大学 生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
年吉 洋
東京大学先端研
-
年吉 洋
東大
-
年吉 洋
東京大学 先端科学技術研究センター
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