電気回路シミュレータによるMEMSアクチュエータ・センサの等価回路モデル(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
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概要
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機械系の運動方程式を解くアナログ計算機等価回路を電気回路シミュレータ上に構築し、静電マイクロアクチュエータや静電容量センサ等のMEMS素子の動作を解析するマルチフィジクス解析プラットフォームを実現した。
- 2011-11-03
著者
-
年吉 洋
東京大学
-
年吉 洋
東大生産研
-
年吉 洋
東京大学 生産技術研究所
-
年吉 洋
東京大学 生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
年吉 洋
東京大学先端研
-
年吉 洋
東大
-
年吉 洋
東京大学 先端科学技術研究センター
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