磁気ディスクヘッド素子駆動用静電マイクロアクチュエータ
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
We have newly developed a prototype model of silicon microfabricated piggyback actuator for positioning a read/write head of magnetic hard-disk drive, which is usually referred to as a dual servo system because the piggyback actuator for fine control is used in collaboration with the voice-coil motor for coarse control. The actuator is made of a 50-micron-thick SOI (silicon on insulator) wafer processed by deep RIE (reactive ion etching) of high-aspect ratio. Actuation mechanism is based upon electrostatic force generated by multiple parallel plates. Maximum displacement of 0.2μ with a dc driving voltage of 20V has been achieved with a 1mm × 0.3mm actuator of its resonance at 25kHz. An analytical model for predicting electromechanical performance has also been developed.
- 2004-01-01
著者
-
三田 信
JAXA
-
藤田 博之
東京大学 生産技術研究所
-
年吉 洋
東京大学 生産技術研究所
-
年吉 洋
東京大学先端研
-
小林 大
科学技術振興事業団
-
吉野 智則
東京電機大学
-
年吉 洋
東京大学 先端科学技術研究センター
-
三田 信
東京大学 生産技術研究所
関連論文
- B-1-175 実用的な能動形フェーズドアレーアンテナの研究開発計画(B-1.アンテナ・伝播B(アンテナ一般),一般講演)
- 21109 MEMS機械構造の電気回路化(基調講演,MEMS技術,OS.3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体,MEMS,NEMS))
- シリコンナノピンセットを用いたDNA酵素反応のメカニカルセンシング
- ナノプローブ先端の力学的挙動と接触抵抗値の関係
- SPMリソグラフィ用耐摩耗マイクロプローブ
- ツリガネムシを駆動源とするマイクロシステム (特集 工学とバイオ)
- MEMS光スキャナー (特集 光で/を動かす技術)
- マイクロ流体デバイスによるツリガネムシの生体アクチュエータの制御
- MEMS技術による画像描画用光スキャナの小型化(環境と人にやさしい小型化・軽量化技術)
- Best Shot 写真でひもとく未来材料 曲げられる書き換えできるマイクロマシンポスター
- 「MEMSとバイオ・ナノを融合した製造技術の産学連携研究」 : ―BEANSプロジェクトの構想と意義―
- 静電駆動型大面積MEMSにおける消費電力
- 画像ディスプレィ用ハイパワー・ハンドリングMEMSスキャナ
- CMOS-First, MEMS-Last 型集積化法におけるMEMSポストプロセスの検討
- ツリガネムシを駆動源とするMEMS作製のためのツリガネムシへの人工物接着
- 圧電MEMS光スキャナによる画像ディスプレイ
- 2次元走査型LIDAER用MEMSスキャナ(宇宙探査・計測,及び一般)
- シリコン細線光導波路を用いたフォトニックMEMS変調素子の設計と作製方法
- アクティブフェイズドアレイアンテナの移相器応用RF-MEMSスイッチ
- MEMSミラースキャナとその制御回路の集積化に関する研究
- 光給電型MEMSスキャナによるOCT内視鏡の試作
- 熱蒸着及びKOH溶液エッチングを用いたナノスケール流路製作及びDNA分子挙動特性観察への応用
- マイクロ・ナノメカトロニクス
- 光ファイバ内視鏡用光駆動MEMSスキャナシステム
- MEMS光可変減衰器のためのデバイス実装技術(MEMSパッケージングへ高まる期待)
- 非対称駆動平行平板型チルトミラーを用いたMEMS可変光減衰器
- C-3-105 シリコンマイクロマシニングによる 5V 駆動光可変減衰器
- RF-MEMS技術による可変メタマテリアル導波路の設計と試作
- プラズモン光学を応用したMEMS型可変色デバイスの検討
- 4023 惑星探査機搭載用レーザ測距計の走査光学系に関する研究(S61-1 宇宙システムの誘導・制御(1),21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 惑星探査機搭載用LIDARの2次元走査機構に関する研究
- B-1-171 高密度実装した間引き給電・能動型位相配列アンテナAPAA(B-1.アンテナ・伝播C(アンテナシステム),一般セッション)
- 静電ワブルモータの解析とディープRIEによる製作
- MEMS技術による光ファイバ内視鏡--マイクロミラーによる医療用内視鏡の小型化 (特集 光MEMSの現状と展望)
- LTCC基板を用いたアクティブ集積フェーズドアレイアンテナ用移相器の試作
- 液中でのレーザー励起プラズマによる3次元カラー画像表示器
- MEMS集積化フォトニック結晶導波路の作製と評価(半導体レーザ関連技術, 及び一般)
- MEMS-フォトニック結晶機能素子の作製方法
- 浮島構造を用いたSOI静電駆動型チルトミラーの信頼性改善
- 434 3次元ナノ構造物評価用電子顕微鏡内走査型プローブ顕微鏡(SEM-SPM)(光メカトロニクスII)(OS.6 ナノ構造創成をめざす光メカトロニクスの展開)
- 429 100万本のSPMカンチレバーアレー(光メカトロニクスI)(OS.6 ナノ構造創成をめざす光メカトロニクスの展開)
- (マイクロマシン特集号)
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製 (マイクロマシン特集号)
- 電鋳技術を用いたMEMS
- 円形状微細穴形成に対する犠牲層としての電着レジストの適用
- Si鋳型を用いた微細穴の試作
- スパイダーレッグ型アクチュエータによるシリコンレンズスキャナを利用する9x9光交差連結器
- 電極構造・弾性体のレイヤー分離による静電櫛歯型XYステージの高密度化
- 2次元光スキャナ用スパイダーレッグ型マイクロXYステージの電気機械的特性解析
- 櫛歯型静電マイクロアクチュエータによるレンズ光スキャナの検討
- 赤外分光天体望遠鏡用マイクロシャッタアレイの試作
- C-3-65 MEMS空間光位相変調器を用いた光ビーム形状操作(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- B-10-34 一次元MEMSアレイを用いた空間光位相変調器(B-10.光通信システムA(線路),一般講演)
- C-2-78 Ku帯移相器用DPDT型RF-MEMSスイッチの設計と評価(C-2.マイクロ波B(マイクロ波・ミリ波受動デバイス),一般セッション)
- 研究解説（公開講演） : インテリジェントマイクロメカトロニクス
- ロータリーステッパーモーターのパラメータ最適化の検討(ハードディスクドライブ+一般)
- 平成22年センサ・マイクロマシン部門総合研究会報告
- シリコンマイクロマシニングによるステップアクチュエータ (マイクロマシン)
- SOIウエハによる音響周波数分解センサの製作と測定(マイクロマシン特集号)
- SOIウエハによる音響の周波数分解センサの製作
- [招待論文]MEMS技術の高周波デバイス応用(信号処理,LSI,及び一般)
- 〔招待論文〕MEMS技術の高周波デバイス応用(信号処理, LSI, 及び一般)
- 〔招待論文〕MEMS技術の高周波デバイス応用(信号処理, LSI, 及び一般)
- Siマイクロマシニング技術による微小領域計測用ツインプローブの試作
- 顕微鏡観察下における局所的温度制御のためのマイクロデバイス
- マイクロ温度制御デバイスによるモータ蛋白質の一分子制御
- 遅延マスク法によるシリコンの3次元バルクマイクロ構造
- 2005 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS 報告
- 2003 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS 報告
- MEMS光ファイバスイッチのデバイス設計小論 (マイクロ・ナノメカトロニクス)
- (マイクロマシン特集号)
- 大面積MEMS技術と整合する黒板型ディスプレイの製作と評価 (IMAGING TODAY 電子ペーパーの最新応用技術)
- W11(3) マイクロメカトロニクスの画像ディスプレィ応用(最先端MEMS・NEMSとその加工方法)
- プラスチックMEMS技術を用いた透過型カラーディスプレイ
- 大面積MEMS技術に整合した黒板型リライタブルディスプレイ
- シリコン細線導波路とMEMSを融合した光変調素子の作製方法
- マイクロ光スイッチ用垂直ミラーの作製
- C-3-69 バーティカル・コーム型トーションミラーの水平面内安定化(光スイッチ)(C-3.光エレクトロニクス)
- マイクロ高速加熱デバイスを用いる生体分子挙動の顕微鏡下ミリ秒計測
- Vertical Comb 型静電駆動ミラーの安定化と光ファイバ可変減衰器への応用
- ピギーバックアクチュエータのマイクロ加工と制御
- 光応用計測用 MEMS 光スキャナ
- 光スキャナの磁気駆動
- 磁気ディスクヘッド素子駆動用静電マイクロアクチュエータ
- 静電インパクト型マイクロアクチュエータの製作と駆動特性
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製 (プロダクションテクノロジー)
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製方法 (マイクロマシン)
- メッキ金の厚膜マスクによるRF-MEMSコプレーナ導波路の製作
- 浮島構造を用いたSOI静電駆動型チルトミラーの信頼性改善
- マイクロマシンによる乱数の発生
- SOI基板によるマイクロレンズ光スキャナの製作
- マイクロヒータを用いた極小反応容器のパルス加熱による高温域における酵素活性測定
- MEMSで捕獲したDNA上の整列金属ナノ粒子の観察と評価
- 宇宙用慣性駆動型マイクロアクチュエータ
- 準平行平板型静電トーションミラーの等価回路モデル
- 分岐型サスペンション構造への運動方程式等価回路モデルの応用
- Electric Contact Characteristics at the Nanoscale Probe Tip
- 電気回路シミュレータを用いたMEMS電圧-周波数変換器のシミュレーション
- 高速MEMSスキャナを用いた第三世代SS-OCT用波長走査型光源