静電駆動型大面積MEMSにおける消費電力
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概要
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- 2008-06-12
著者
-
藤田 博之
東京大学
-
藤田 博之
東大生研
-
柴田 直
東京大学新領域創成科学研究科基盤情報学専攻
-
藤田 博之
東京大学 生産技術研究所
-
松山 知弘
東京大学
-
三田 吉郎
東京大学
-
久保田 雅則
東京大学
-
柴田 直
東京大学
-
三田 吉郎
東京大学大学院電気系工学専攻
-
柴田 直
東大
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