MNM-P6-4 ロータリーステッパーモーターのパラメータ最適化と電極改善(P6 情報・精密機器におけるマイクロ・ナノテクノロジー)
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概要
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We developed a three-phase electrostatic stepper micromotor and performed a numerical simulation to improve its performance for practical use and to optimize its design. We conducted its circuit simulation by simplifying its structure, and the effect of springback force generated by supported mechanism using flexures was considered. And we considered new improvement method for electrodes. This improvement and other parameter optimizations achieved the low voltage drive of micromotor.
- 2010-10-12
著者
-
藤田 博之
東京大学
-
藤田 博之
東大生産研
-
藤田 博之
東大生研
-
曽根 順治
東京工芸大学工学部
-
曽根 順治
東京工芸大学 工学部
-
望月 俊輔
数理システム
-
Sarajlic Edin
東京大学生産技術研究所
-
望月 俊輔
株式会社数理システム科学技術部
-
水間 俊成
東京工芸大学工学部
-
Yamahata Christophe
東京大学生産技術研究所
-
藤田 博之
東京大学生産技術研究所
-
SARAJIC Edin
The University of Tokyo
-
Yamahata Chiristophe
東京大学
-
曽根 順治
東京工芸大学
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