超電導磁気浮上を用いたマイクロ搬送アクチュエータ

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概要

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著者

• 藤田 博之

  東京大学

• 飯塚 哲彦

  東京大学生産技術研究所

• 飯塚 哲彦

  東京大学 生産技術研究所

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