シリコン細線導波路とMEMSを融合した光変調素子の作製方法
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概要
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- 2006-05-15
著者
-
藤田 博之
東京大学
-
年吉 洋
東京大学 生産技術研究所
-
肥後 昭男
東京大学先端研
-
年吉 洋
東京大学先端研
-
肥後 昭男
東京大学, 神奈川科学技術アカデミー
-
年吉 洋
東京大学, 神奈川科学技術アカデミー
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