MEMS光可変減衰器のためのデバイス実装技術(<特集>MEMSパッケージングへ高まる期待)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 社団法人エレクトロニクス実装学会の論文
- 2006-07-01
著者
-
鄭 昌鎬
santec株式会社
-
藤田 博之
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
年吉 洋
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
年吉 洋
東京大学 生産技術研究所
-
諫本 圭史
サンテック
-
年吉 洋
東京大学生産技術研究所
-
諫本 圭史
サンテック株式会社
-
諫本 圭史
santec株式会社
-
年吉 洋
東京大学先端研
-
鄭 昌鎬
サンテック
-
藤田 博之
東京大学生産技術研究所
関連論文
- B-1-175 実用的な能動形フェーズドアレーアンテナの研究開発計画(B-1.アンテナ・伝播B(アンテナ一般),一般講演)
- 21109 MEMS機械構造の電気回路化(基調講演,MEMS技術,OS.3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体,MEMS,NEMS))
- 1:8光プロテクションスイッチの開発(光アクセスに向けた光ファイバ,光デバイス・モジュール,(OFC報告),一般)
- C-3-7 1:8光プロテクションスイッチの開発(光スイッチ(II),C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- MEMSデバイスによるシリコンナノワイヤ熱伝導のTEM内測定
- MEMS光スキャナー (特集 光で/を動かす技術)
- MEMS技術による画像描画用光スキャナの小型化(環境と人にやさしい小型化・軽量化技術)
- Best Shot 写真でひもとく未来材料 曲げられる書き換えできるマイクロマシンポスター
- 「MEMSとバイオ・ナノを融合した製造技術の産学連携研究」 : ―BEANSプロジェクトの構想と意義―
- 画像ディスプレィ用ハイパワー・ハンドリングMEMSスキャナ
- CMOS-First, MEMS-Last 型集積化法におけるMEMSポストプロセスの検討
- 表面科学とMEMS
- 圧電MEMS光スキャナによる画像ディスプレイ
- 2次元走査型LIDAER用MEMSスキャナ(宇宙探査・計測,及び一般)
- シリコン細線光導波路を用いたフォトニックMEMS変調素子の設計と作製方法
- アクティブフェイズドアレイアンテナの移相器応用RF-MEMSスイッチ
- MEMSミラースキャナとその制御回路の集積化に関する研究
- 光給電型MEMSスキャナによるOCT内視鏡の試作
- マイクロ・ナノメカトロニクス
- 光ファイバ内視鏡用光駆動MEMSスキャナシステム
- MEMS光可変減衰器のためのデバイス実装技術(MEMSパッケージングへ高まる期待)
- 非対称駆動平行平板型チルトミラーを用いたMEMS可変光減衰器
- C-3-105 シリコンマイクロマシニングによる 5V 駆動光可変減衰器
- RF-MEMS技術による可変メタマテリアル導波路の設計と試作
- プラズモン光学を応用したMEMS型可変色デバイスの検討
- 惑星探査機搭載用LIDARの2次元走査機構に関する研究
- B-1-171 高密度実装した間引き給電・能動型位相配列アンテナAPAA(B-1.アンテナ・伝播C(アンテナシステム),一般セッション)
- 高密度光IC用ファイバアレイOPLEAF
- C-3-61 高密度ピッチ変換光ファイバアレイ"OPLEAF"の開発(2)(導波路デバイス(2),C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- C-3-30 光IC用高密度ピッチ変換光ファイバアレイ"OPLEAF"の開発(C-3. 光エレクトロニクス, エレクトロニクス1)
- 非対称グレーティング回折格子による平面集積形光偏向機能素子
- 静電ワブルモータの解析
- MEMS技術による光ファイバ内視鏡--マイクロミラーによる医療用内視鏡の小型化 (特集 光MEMSの現状と展望)
- MEMS-in-TEM実時間観察系によるPt, Ruナノワイヤの成長速度計測
- SOI基板上に作製したスプリットゲートMOS構造のコンダクタンス振動現象
- SOI基板上に作製したスプリットゲートMOS構造のコンダクタンス振動現象
- LTCC基板を用いたアクティブ集積フェーズドアレイアンテナ用移相器の試作
- パラレルAFMリソグラフィー用カンチレバーの製作
- 薄膜トランジスタ積層型ポリシリコン電子銃アレイの製造方法
- 液中でのレーザー励起プラズマによる3次元カラー画像表示器
- MEMS集積化フォトニック結晶導波路の作製と評価(半導体レーザ関連技術, 及び一般)
- MEMS-フォトニック結晶機能素子の作製方法
- 434 3次元ナノ構造物評価用電子顕微鏡内走査型プローブ顕微鏡(SEM-SPM)(光メカトロニクスII)(OS.6 ナノ構造創成をめざす光メカトロニクスの展開)
- 429 100万本のSPMカンチレバーアレー(光メカトロニクスI)(OS.6 ナノ構造創成をめざす光メカトロニクスの展開)
- (マイクロマシン特集号)
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製 (マイクロマシン特集号)
- 円形状微細穴形成に対する犠牲層としての電着レジストの適用
- WS.4-7 ニッケル電鋳を応用した 3 次元マイクロ構造体の作製
- マイクロマシニングとしてのニッケル電鋳技術の応用
- スパイダーレッグ型アクチュエータによるシリコンレンズスキャナを利用する9x9光交差連結器
- 電極構造・弾性体のレイヤー分離による静電櫛歯型XYステージの高密度化
- 2次元光スキャナ用スパイダーレッグ型マイクロXYステージの電気機械的特性解析
- 櫛歯型静電マイクロアクチュエータによるレンズ光スキャナの検討
- C-3-65 MEMS空間光位相変調器を用いた光ビーム形状操作(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- B-10-34 一次元MEMSアレイを用いた空間光位相変調器(B-10.光通信システムA(線路),一般講演)
- マイクロチャネルを利用したλ-DNA単分子の分離と電極間への捕獲
- 金対シリコン対向探針を用いたシリコン表面への金ナノクラスターのTEM内散布方法
- 金対シリコン異種MEMS針端の接触による金原子移動の実時間観察
- 1121 MEMS可動の異種物質対向探針の作製と動作のTEM観察(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- C-2-78 Ku帯移相器用DPDT型RF-MEMSスイッチの設計と評価(C-2.マイクロ波B(マイクロ波・ミリ波受動デバイス),一般セッション)
- ロータリーステッパーモーターのパラメータ最適化の検討(ハードディスクドライブ+一般)
- 薄膜形状記憶合金アクチュエータの製作と応用
- 平成22年センサ・マイクロマシン部門総合研究会報告
- シリコンマイクロマシニングによるステップアクチュエータ (マイクロマシン)
- SOIウエハによる音響周波数分解センサの製作と測定(マイクロマシン特集号)
- SOIウエハによる音響の周波数分解センサの製作
- フッ酸，オゾン，HMDSを用いたMEMSデバイスの全気相処理によるスティクション力の低減
- MEMS対向探針による金ナノコンタクト接近-衝突-引張-破断実験のHRTEM観察と電流測定
- ナノギャップを有する対向針状電極のTEM内の駆動とトンネル電流測定への応用
- [招待論文]MEMS技術の高周波デバイス応用(信号処理,LSI,及び一般)
- マイクロマシーニング技術による熱膨張アクチュエーター体型ナノグリッパーの開発
- Siマイクロマシニング技術による微小領域計測用ツインプローブの試作
- 超微小チャンバーによる一分子バイオケミカルアッセイ
- 1108 極微細ヒータを用いた生体分子モータの回転速度制御 : バイオ機能分子と無機微細加工構造物に融合による新機能素子の創造に向けて(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- MEMSセンサの鉄道への応用可能性
- 2A1-A09 バルクマイクロマシニングによるアレイ型エアーフローアクチェータ : 自律分散搬送システムを指向した MEMS
- 神経電位計測用フレキシブルシリコンプローブアレイ
- 層流を用いた電気めっき法によるマイクロ構造の製作
- マイクロマシンとの集積化に適したフィードバック制御用分散型プロセッサ(マイクロマシン関連技術)
- MEMS光ファイバスイッチのデバイス設計小論 (マイクロ・ナノメカトロニクス)
- (マイクロマシン特集号)
- W11(3) マイクロメカトロニクスの画像ディスプレィ応用(最先端MEMS・NEMSとその加工方法)
- 高温超電導体への部分的着磁ガイドを用いた磁気浮上搬送の基礎研究
- C-3-69 バーティカル・コーム型トーションミラーの水平面内安定化(光スイッチ)(C-3.光エレクトロニクス)
- マイクロ高速加熱デバイスを用いる生体分子挙動の顕微鏡下ミリ秒計測
- 第1回 生研産学共同研究の歴史を振り返る懇談会 : （生研アーカイバル懇談会）
- 液体ヘリウム温度における極低温構造材料の電磁衝撃破壊
- MEMSナノトライボロジーの電子顕微鏡その場観察 (特集 MEMSとトライボロジー)
- マイクロマシンで作るPDMSチャンバの中でのブラウン運動の観察と制御(センサデバイス・MEMS・一般)
- マイクロマシンで作るPDMSチャンバの中でのブラウン運動の観察と制御(センサデバイス・MEMS・一般)
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製 (プロダクションテクノロジー)
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製方法 (マイクロマシン)
- メッキ金の厚膜マスクによるRF-MEMSコプレーナ導波路の製作
- MNM-2B-2 MEMSを用いたシリコン真実接触部変形のTEM実時間観察と摩擦力測定(セッション 2B マイクロ・ナノトライボロジー)
- MNM-2B-1 MEMSを用いたDLC界面間におけるスティックスリップのTEMその場観察及び力計測(セッション 2B マイクロ・ナノトライボロジー)
- F-1 MEMS銀探針のナノせん断破壊に伴う界面変形の実時間TEM観測(マイクロナノ理工学)
- B-3 ホットスイッチングによるMEMSスイッチ表面におけるナノスケール形状変化の実時間観察(口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
- シリコンと金のナノスケール接触界面のリアルタイムTEM観察 (特集 Au/Si界面の科学)
- シリコンと金のナノスケール接触界面のリアルタイムTEM観察