パラレルAFMリソグラフィー用カンチレバーの製作
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概要
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An arrayed atomic force microscope (AFM) cantilevers were fabricated for parallel scanning probe lithography (SPL). n-octadecyltrimethoxysilane (ODS) self-assembled monolayer (SAM) films were patterned to form 100nm-width lines. Parallel SPL was demonstrated with 5 probes and good alignment and homogeneity were obtained. Parallel SPL in addition to photolithography for a single electron device was also performed.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2004-07-01
著者
-
橋口 原
香川大学工学部
-
橋口 原
静岡大学
-
磯野 吉正
立命館大学理工学部
-
藤田 博之
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
磯野 吉正
神戸大学
-
磯野 吉正
立命館大学
-
安宅 学
東京大学・生産技術研究所
-
安宅 学
東京大学生産技術研究所
-
三原 豊
香川大学工学部知能機械システム工学科
-
三村 秀典
東北大学電気通信研究所
-
三原 豊
香川大学工学部
-
角嶋 邦之
東京大学生産技術研究所
-
渡邉 稔之
立命館大学理工学部
-
島本 浩司
立命館大学理工学部
-
合田 拓史
香川大学工学部知能機械システム工学科
-
磯野 吉正
立命館大学理工学部機械工学科
-
藤田 博之
東京大学生産技術研究所
-
三原 豊
香川大学工学部材料創造工学科
-
橋口 原
Research Institute Of Electronics Shizuoka University
-
角嶋 邦之
東京大学生産技術研究所 藤田博之研究室
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