[招待論文]半導体マイクロマシーニング技術のナノ・バイオテクノロジーへの展開(非線形回路とシステム,及び一般)
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概要
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マイクロマシーニング技術を利用したナノテクノロジーについて、我々の取り組みを紹介する。まずアルカリ性水溶液によるSi異方性エッチング技術を利用したナノ構造作製方法について簡単に説明した後、単電子トランジスタヘの応用を述べる。次に特殊なナノプローブデバイスとして、原子間力顕微鏡用マルチナノプローブとナノ領域電気計測用ナノテスター、及び最近開発したDNAナノピンセットを紹介する。さらにDNAナノピンセットを用いた実際のDNA分取実験についても述べるつもりである。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-09-22
著者
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