5516 パラレルナノイメージング用光干渉縞型マルチプローブ(J19-3マイクロメカトロニクス(3),J19マイクロメカトロニクス)

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概要

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• This paper proposes a new composition of the multi-probe using optical interference pattern for the parallel nano imaging for a large area scanning. We achieved large-scale integration with 50,000 probes fabricated with MEMS technology, and measured the optical interference patterns with CCD, which was difficult in a conventional single scanning probe. In this research, the multi-probes have been made of SiN by semiconductor process, and joined with a Pyrex glass by anodic bonding. In this paper, we designed, fabricated, and evaluated the characteristics of the cantilever beam. In addition, we changed the probe shape to decrease the warpage of the SiN probe.

• 社団法人日本機械学会の論文
• 2006-09-15

著者

• 橋口 原

  香川大学工学部

• 細木 真保

  香川大学

• 大平 文和

  香川大学

• 橋口 原

  静岡大学

• 大平 文和

  香川大

• 細木 真保

  香川大学工学部知能機械システム工学科

• 細木 真保

  静岡大学

• 児山 浩崇

  香川大学

• 橋口 原

  香川大学

• 細木 真保

  香川大

• HASHIGUCHI Gen

  Research Institute of Electronics Shizuoka University

• 橋口 原

  Research Institute Of Electronics Shizuoka University

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