マイクロマシン技術を用いた小型光学式マルチガスセンサ[1] : 超厚膜樹脂を用いた高精度なマイクロ光学ベンチの製作
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概要
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- 2013-06-01
著者
-
大平 文和
香川大学
-
鈴木 孝明
香川大学
-
林 宏樹
アオイ電子(株)
-
今野 隆
アオイ電子
-
高尾 英邦
香川大学
-
二宮 英樹
四国総合研
-
林 宏樹
アオイ電子
-
下川 房男
香川大学
-
伊藤 将寛
香川大学
-
武田 知也
香川大学
-
朝日 一平
四国総合研究所
-
杉本 幸代
四国総合研究所
-
筒井 靖之
アオイ電子(株)
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