圧電PZT薄膜を用いた波面補償用形状可変MEMSミラーの開発

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概要

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• 2006-05-15

著者

• 神野 伊策

  京都大学

• 小寺 秀俊

  京都大学

• 鈴木 孝明

  京都大学

• 鈴木 孝明

  香川大学

• 國澤 孝瑛

  京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻

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