PZT圧電薄膜とそのMEMS応用

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 2007-12-07

著者

• 神野 伊策

  京都大学

関連論文

• 318 質量分布型マイクロミキサー(T02-2 マイクロナノメカトロニクス(2),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• マイクロチャネルにおけるせん断流が生体組織に与える影響
• 回転傾斜露光法による複雑マイクロ構造作製とバイオデバイスへの応用(第17回MAGDAコンファレンス)
• 積層型圧電アクチュエータを用いた進行波型マイクロポンプによる流体輸送制御(第17回MAGDAコンファレンス)
• 圧電・超音波材料 多成分PZT系薄膜の作製と圧電特性--GHz high k[t]/high Qm FBAR
• 319 MEMSデバイスを利用した血管構造への流体導入に関する研究(T02-2 マイクロナノメカトロニクス(2),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• 310 圧電薄膜を用いた流路壁面振動送液デバイスの特性評価(T02-1 マイクロナノメカトロニクス(1),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• 309 補償光学用高解像度圧電MEMSミラーに関する研究(T02-1 マイクロナノメカトロニクス(1),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• RF-MEMSスイッチ用圧電薄膜型マイクロアクチュエータの開発(第16回MAGDAコンファレンス)
• PZT圧電薄膜を用いた補償光学用MEMS可変ミラー
• 3302 圧電薄膜を用いた流体搬送機能を有するマイクロチャネルの開発(J26-1 マイクロメカトロニクス(1),J26 マイクロメカトロニクス)
• 3304 圧電薄膜を用いた形状可変ミラーのFEM解析による設計(J26-1 マイクロメカトロニクス(1),J26 マイクロメカトロニクス)
• 2110 MEMSデバイス上における血管増殖因子を用いた血管構造形成の誘導(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
• 2107 圧電薄膜を用いた高解像度形状可変MEMSミラーに関する研究(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
• 2106 圧電薄膜を用いた流路壁面振動による送液デバイスの開発(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
• 低電圧駆動型指向性可変ミリ波アンテナのための基礎的研究 : 誘電体の局所温度場を制御するマイクロヒータ(第15回MAGDAコンファレンス)
• モータタンパク質の選択的付加による微小管輸送方向制御
• T1601-2-1 VEGF含有ビーズを用いたマイクロ流路への脈構造誘導形成に関する研究(マイクロナノダイナミクスの計測と制御・マイクロナノメカトロニクス(2))
• 電気浸透流を用いた開放型流路内での異種細胞配置と細胞間相互作用の観察
• 多重マスク回転傾斜露光法による3次元複雑マイクロ構造の作製
• 多重マスク回転傾斜露光法による3次元複雑マイクロ構造の作製
• M5-3 サーフェスマイクロマシン技術を用いたPZT薄膜アクチュエータの作製に関する研究(M5 アクチュエータ/フィジカルセンサ)
• T1601-1-3 圧電MEMS可変ミラーの開発および補償光学への応用(マイクロナノダイナミクスの計測と制御・マイクロナノメカトロニクス(1))
• 1102 SINGLE-MASK傾斜UVリソグラフィにより作製した細胞機能計測用チップ上での細胞培養(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
• 圧電アクチュエータを用いた進行波型バルブレスマイクロポンプの開発(第14回MAGDAコンファレンス)
• 259 PZT/SUS ユニモルフマイクロアクチュエータの開発と進行波型マイクロポンプへの応用
• μTAS用アトマイザの高機能化と数値設計
• 圧電PZT薄膜を用いた波面補償用形状可変MEMSミラーの開発
• 圧電PZT薄膜を用いたRF-MEMSスイッチの開発
• 2414 アクティブ・シンク法により弾性表面波モータの定在波成分の除去(J22-3 マイクロ流体素子と弾性表面波応用,J22 マイクロメカトロニクス,2005年度年次大会)
• 多重マスク回転傾斜露光法による3次元複雑マイクロ構造の作製
• J0207-1-6 電気泳動力によるモータタンパク質運動の双方向化に関する検討([J0207-1]医療・福祉工学のための3次元造形技術(1))
• PZT圧電薄膜とそのMEMS応用
• 単一心筋細胞の収縮力を測定する力学センサの開発
• 圧電アクチュエータを用いた進行波型バルブレスマイクロポンプの開発
• PZT薄膜/SUSユニモルフアクチュエータの開発およびマイクロポンプへの応用
• 1111 進行波によるバルブレスマイクロポンプの作製及びその応用(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
• MNM-1A-2 鏡面・非鏡面X線反射率測定によるタンパク吸着膜構造の統計学的評価(セッション 1A マイクロ・ナノスケールバイオ計測と医用応用)
• MNM-5B-1 Ti基板上に成膜したPZT薄膜による振動発電特性(セッション 5B マイクロエネルギー)
• D-1-4 金属基板上に成膜したPZT薄膜による圧電MEMSスキャナーミラーの研究(D-1 マイクロアクチュエータ,口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
• D-2-1 ナノインプリントリソグラフィとUVリソグラフィの融合によるバイオアッセイ用サブマイクロ灌流デバイスの作製(D-2 設計・プロセス,口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
• MP-50 Ti基板上に成膜したPZT薄膜駆動の圧電MEMSスキャナーミラーに関する研究(ポスターセッション)

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク