圧電・超音波材料 多成分PZT系薄膜の作製と圧電特性--GHz high k[t]/high Qm FBAR

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概要

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著者

• 神野 伊策

  京都大学

• 小寺 秀俊

  京都大学大学院工学研究科

• 小寺 秀俊

  京大

• 和佐 清孝

  京都大学大学院工学研究科

• 小寺 秀俊

  九大工

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