T1601-2-6 樹脂上金属薄膜への熱ナノインプリント加工(マイクロナノダイナミクスの計測と制御・マイクロナノメカトロニクス(2))
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概要
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The deforming of thin metal films on PET substrates is studied. Though only polymer substrates are deformed in conventional nanoimprint lithography studies, we pressed metal-polymer composite specimens which may be applied to micro electromagnetic or optical devices. 100 nm Al thin films were deposited on 50 μm PET substrates for specimens. The thin metal films on PET are pressed for loading time t=300, 900, 1800 s with a mold patterned lines. As a result, thin metal films are strained 1.7 % at most.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2009-09-12
著者
-
津守 不二夫
九州大学大学院工学研究院機械工学部門
-
小寺 秀俊
京都大学
-
小寺 秀俊
京都大学大学院工学研究科
-
小寺 秀俊
京大
-
小寺 秀俊
京都大・工
-
酒井 佑典
京都大
-
津守 不二夫
九大
-
津守 不二夫
九州大学大学院工学研究院
-
小寺 秀俊
九大工
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