RF-MEMSスイッチ用圧電薄膜型マイクロアクチュエータの開発(<特集>第16回MAGDAコンファレンス)
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概要
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- 日本AEM学会の論文
- 2008-06-10
著者
-
神野 伊策
京都大学
-
小寺 秀俊
京都大学
-
小寺 秀俊
京都大学大学院工学研究科
-
鈴木 孝明
京都大学
-
鈴木 孝明
香川大学
-
鈴木 孝明
香川大学工学部知能機械システム工学科
-
田澤 慶朗
京都大学
-
鈴木 孝明
香川大 工
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