田澤 慶朗 | 京都大学

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• 田澤 慶朗

  京都大学

• 鈴木 孝明

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  京都大学大学院工学研究科

• 鈴木 孝明

  香川大学工学部知能機械システム工学科

• 鈴木 孝明

  香川大 工

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著作論文

• RF-MEMSスイッチ用圧電薄膜型マイクロアクチュエータの開発(第16回MAGDAコンファレンス)
• 5518 圧電PZT薄膜を用いたX形状RF-MEMSスイッチ(J19-3 マイクロメカトロニクス(3),J19 マイクロメカトロニクス)
• 圧電PZT薄膜を用いたRF-MEMSスイッチの開発
• 2404 圧電PZT薄膜を用いた両持ち梁型RF-MEMSスイッチの開発(J22-1 圧電素子とマイクロアクチュエータ,J22 マイクロメカトロニクス,2005年度年次大会)
• 1104 Si基板上に成膜したPZT薄膜を用いたアクチュエータ(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
• 918 圧電PZT薄膜を用いた低電圧駆動RF-MEMSスイッチの創製(GS-3,16 薄膜(2),研究発表講演)

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