遠藤 広宣 | 京大

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概要

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• 京大の論文著者

関連著者

• 鈴木 孝明

  京大

• 神野 伊策

  京大

• 小寺 秀俊

  京大

• 遠藤 広宣

  京大

• 田澤 慶朗

  京都大学

• 田澤 慶朗

  京大

• 鈴木 孝明

  香川大学

著作論文

• 1104 Si基板上に成膜したPZT薄膜を用いたアクチュエータ(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
• 918 圧電PZT薄膜を用いた低電圧駆動RF-MEMSスイッチの創製(GS-3,16 薄膜(2),研究発表講演)
• 圧電PZT薄膜を用いたRF-MEMSスイッチの特性評価(J22-3 センサ・アクチュエータシステムとその知能化(3),J22 センサ・アクチュエータシステムとその知能化-実環境で活躍するメカトロニクスを目指して)

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