圧電PZT薄膜を用いたRF-MEMSスイッチの開発

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概要

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• 2006-05-15

著者

• 神野 伊策

  京都大学

• 小寺 秀俊

  京都大学

• 鈴木 孝明

  京都大学

• 鈴木 孝明

  香川大学

• 田澤 慶朗

  京都大学

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